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技術文章 / ARTICLE
描述:光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列更小的測量盲區(qū)更高精度的尺寸及位移復現(xiàn)能力高靈敏度光學非接觸測量多膜層/多層玻璃測厚能力同軸式測量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測量盲區(qū),適合復雜細微結(jié)構(如深溝槽結(jié)構等)的測量。
光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列
更小的測量盲區(qū)
更高精度的尺寸及位移復現(xiàn)能力
高靈敏度光學非接觸測量
多膜層/多層玻璃測厚能力
同軸式測量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測量盲區(qū),
適合復雜細微結(jié)構(如深溝槽結(jié)構等)的測量。
針對光譜共焦位移傳感器研制開發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片,能夠?qū)崿F(xiàn)最小10微米的成像光斑,同時提高測量線性精度。
針對光譜共焦位移傳感器定制開發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源,都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度,能夠?qū)Ρ砻娣祷氐臉O弱的光強(如薄膜等透明物體)完成測量。
光譜共焦傳感器適合各種材料的測量,并能確保對不同材料的測量性能,同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。
抗干擾模塊化探頭
光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測量現(xiàn)場的探頭是純光學器件,通過光纖與控制器連接
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